EUV光刻机全拆解！芯片皇冠上的明珠全球最贵、最精密的设备——EUV光刻机，一台1.5亿美元，里面藏着什么？🔹 整体结构：照明+投影+光源+掩模+晶圆七大模块🔹 工作原理：激光轰击锡滴→13.5nm EUV光→反射式光路→晶圆曝光🔹 光源系统：30kW CO₂激光+5万滴/秒锡靶，造“人造小太阳”🔹 收集镜照明：Mo/Si多层膜反射，均匀性99%🔹 掩模台：反射式掩模+纳米级运动精度🔹 投影物镜晶圆台：原子级平坦镜面（粗糙度
EUV光刻机全拆解！芯片皇冠上的明珠全球最贵、最精密的设备——EUV光刻机，一台1.5亿美元，里面藏着什么？🔹 整体结构：照明+投影+光源+掩模+晶圆七大模块🔹 工作原理：激光轰击锡滴→13.5nm EUV光→反射式光路→晶圆曝光🔹 光源系统：30kW CO₂激光+5万滴/秒锡靶，造“人造小太阳”🔹 收集镜照明：Mo/Si多层膜反射，均匀性99%🔹 掩模台：反射式掩模+纳米级运动精度🔹 投影物镜晶圆台：原子级平坦镜面（粗糙度
