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中国芯片突破美国封锁路线图更新,国产DUV光刻机成为关键,2028年国产光刻机量

中国芯片突破美国封锁路线图更新,国产DUV光刻机成为关键,2028年国产光刻机量产28nm,锁定胜利

华为“韬定律”突破,其实有个非常重要的点,大家没意识到。这说的是用DUV光刻机,可以做出高性能芯片,性能追上台积电用EUV光刻机做的。麒麟2026晶体管密度两层堆叠后达到2.38亿个每平方毫米,这是超乎想象的技术进步。但是,它还是需要高端DUV光刻机,要6nm-7nm工艺。

这就是美国报告反复强调的一点:中国高性能芯片产能有限。目前中国先进芯片全部都是用ASML的浸润式DUV光刻机做的,需要是1980Di以上的型号,中国仅有少量的2000i、2050i、2010i。数量对业界不是秘密。结果是,中国先进芯片产能,仅占全球的2%,这远远不够。

美国将芯片视为最大战略优势,逼迫荷兰,不卖高端DUV光刻机了,这方面难有进展。中国即使大规模应用“逻辑折叠”、“三维堆叠”大招,产能也被高端DUV光刻机限制了。

但是,好消息是,国产浸润式DUV光刻机原型已经出来了,正在测试。而成功的标志,就是2028年用国产DUV光刻机量产28nm芯片,如果量产成功,说明国产高端DUV光刻机体系成功了。

后面,就不断提高精度,把下图中的数值孔径、分辩率、套刻精度、生产能力不断提升。这都没有悬念,能做28nm,需要浸润式、多重曝光,理论上也能做7nm。后面就是平凡地努力提升,没多久就会实现国产光刻机量产7nm芯片。

这时,就可以宣布彻底胜利,突破美国封锁,高性能芯片实现生产自由。但在2028年国产DUV光刻机量产28nm成功的那一刻,美国就注定输了。