先进封装高可靠焊接是面向 Chiplet、2.5D/3D 堆叠、SiP、功率器件、HBM 等异构集成场景的技术,核心目标:低空洞、可控 IMC、低应力、高耐温循环、高气密性,满足车规 AEC-Q、军工 MIL、航天、第三代半导体 SiC/GaN 严苛可靠性要求,解决微凸点、薄芯片、异质材料 CTE 失配带来的虚焊、翘曲、界面开裂、热阻超标等问题。当前的技术路径正从单一的“焊接”演变为一套涵盖材料、工艺与检测的“精密制造体系”,重点在于局部化、低温化与低缺陷化。同时,主流高可靠焊接工艺还是以真空共晶焊接(最经典高可靠焊)、热压键合 TCB(Thermo Compression Bonding)倒装微凸点焊接、激光辅助键合 LAB / 激光选择性焊接、真空回流焊(真空 SAC 回流)、Cu-Cu 直接键合 / 混合键合 Hybrid Bonding(无焊料原子级连接)和超声键合(超声丝焊 / 超声金属焊)这6大类为主。另外,先进封装高可靠焊接还有着异质材料 CTE 失配、微凸点小型化、IMC 长期生长、超薄芯片、低 k 介质和空洞来源等多个共性技术难点。因此,封装高可靠焊接从来不是换个好焊料就完了,从电镀铜的晶粒、基体镀层成分,到RDL布线几何、回流温区和冷却速率,每一步都是关键。




