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中国人自己造的极紫外光(EUV)光刻机还有多久?刚刚出现两个新的预测:¹ 瑞银刚

中国人自己造的极紫外光(EUV)光刻机还有多久?刚刚出现两个新的预测:

¹ 瑞银刚发布报告,说可能“未来10年内都仍难以研发出可替代ASML设备的国产EUV技术。”

² 蔡司,ASML主要供货商,半导体部门负责人Frank Rohmund,说“中国可能还需要15年研发出EUV光刻机”。“合理的估计”,实际进展难量化。

³ 国内一批人说永远、绝无可能。

⁴ 瑞银还预测,未来三五年内中国就会大规模生产DUV光刻机。今年7月已报道“上海一家企业”已开始制造浸没式DUV光刻机。谁对谁错,未来10-15年就可以验证一下。科学人医疗社会史