【硫酸!量产!电子级的!】8月22日,南化公司成功攻克该等级无机湿电子化学品量产技术,G4级电子级硫酸装置连续稳定运行满15天。
作为半导体制造中用量最大的湿电子化学品之一,电子级硫酸被誉为芯片的“清洁剂”。当前,国内半导体用G4及以上级别电子级硫酸长期依赖进口。
南化公司研发团队持续优化工艺参数,通过长周期运行试验,成功破解了微量杂质管控、分离稳定性、洁净灌装防污染等难题。当前,该公司已系统提炼形成成套工艺管控方案,并将成熟经验应用于电子级硝酸、电子级盐酸的工艺包开发,加速构建拥有自主知识产权的湿电子化学品技术体系。硫酸


