荷兰光刻机巨头ASML曾表示,现在在美国的技术封锁下,中企想获取EUV光刻机几乎不可能了,但是中国一直没有放弃,研发投入每年增速超过20%。
说实话,听到ASML那番话的时候,我心里挺不是滋味的。这就像班里有个学霸,手里攥着最牛的计算器,然后跟你说:这玩意儿你别想了,借不到,也买不着。可问题在于,咱们不是不想抄作业,而是要自己办一场全球级别的考试,芯片制造这门课,EUV光刻机就是那把开门的钥匙。没有它,7纳米以下的先进制程就像天方夜谭。
中国这些年为什么咬着牙往里砸钱?增速超过20%是什么概念?你想想,一家普通公司的研发预算每年能涨个百分之十几就算很拼了。20%以上,基本等于把利润甚至老本都掏出来往前冲。我认识一个在中科院某研究所搞光学镀膜的朋友,有次喝酒他跟我倒苦水:“你知道吗,光刻机里一个镜面,表面粗糙度得做到原子级别。我们团队三年没发过像样的论文,天天跟那几块玻璃较劲。”他老婆埋怨他工资低,他说他们那栋楼晚上十点还亮着灯的,从来不是财务部。
这场封锁倒逼出的东西,可能连美国都没料到。历史上这种事儿太多了,当初国际空间站不带中国玩,结果我们自己搞出了天宫;GPS掐信号,北斗横空出世。封锁有时候像一堵墙,可中国人擅长在墙根底下挖地道,甚至干脆把墙拆了盖成自己的地基。ASML的CEO温宁克这两年口风都变了,从“给你们图纸也造不出”变成了“孤立中国只会让他们更努力”。你看,连对手都开始改口了。
当然,我也得说点实在话。现在网络上有些声音太乐观,觉得光刻机明年就能量产,甚至有人编出“国产EUV已突破”的谣言。这种捧杀比封锁还害人。客观来讲,我们跟ASML的差距大概还有十年到十五年,别灰心,这已经是惊人的追赶速度了。ASML一台EUV光刻机有十万多个零件,全球几千家供应商。我们几乎是从零开始重建整个生态系统。就像造一辆顶级跑车,发动机有了,变速箱呢?轮胎呢?调校呢?每个环节都是一座大山。
但有意思的是,这场技术围堵反而给中国半导体产业打了一针“清醒剂”。以前很多企业觉得买现成的便宜,何必自己折腾?现在倒好,彻底断了念想。华为的芯片堆叠专利、上海微电子的28纳米光刻机落地、清华的SSMB光源方案……这些突破单个看都不起眼,可拼在一起,就是一张逐渐清晰的作战地图。我甚至觉得,再过五年回头看,美国人可能会后悔今天的决定,他们亲手把一个依赖进口的客户,逼成了最可怕的竞争对手。
讲个小故事吧。我父亲在八十年代是工厂里的铣工,那时候厂里一台进口机床坏了,外国专家修一下要价几万美金,还不让中国人靠近看。我爸带着两个徒弟,花了四个月拆解仿制,最后不仅修好了,还改进了传动结构。他后来跟我说:“人家卡你脖子,是因为知道你够不着。你踮起脚尖还不够,那就跳起来,哪怕摔几次,总能摸到那条线。”我觉得今天的光刻机,无非是当年那台机床的放大版。
回到ASML那句“几乎不可能”。在技术世界里,“几乎”两个字往往是最不靠谱的。它意味着还有一条缝,有缝就能透光,有光就有人顺着往前爬。中国每年20%的研发增速,说白了就是几万名工程师正在那条缝上凿壁偷光。可能很慢,可能头破血流,但这场仗不打完,没人会提前离场。
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